無塵車間粒子計(jì)數(shù)器集成電路(芯片)在電子學(xué)中是一種將電路(主要包括半導(dǎo)體設(shè)備,也包括被動(dòng)組件等)小型化的方式,并時(shí)常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上,它是具有戰(zhàn)略地位的產(chǎn)品和技術(shù),自從前段時(shí)間爆發(fā)出“中興事件”以來,眾多中國人才真正開始意識(shí)到了芯片的重要性,同時(shí)也知道了原來我們國家的芯片行業(yè)有多么的脆弱。
以制造為主的芯片下游,是我國集成電路產(chǎn)業(yè)最薄弱的環(huán)節(jié)。由于工藝復(fù)雜,芯片制造涉及到從學(xué)界到產(chǎn)業(yè)界在材料、工程、物理、化學(xué)、光學(xué)等方面的長期積累,這些短板短期內(nèi)難以補(bǔ)足。以往只要在整體產(chǎn)值上就可以稱之為芯片強(qiáng)國,不過如今游戲規(guī)則已經(jīng)改變,光是產(chǎn)值已經(jīng)沒有用,在每一個(gè)環(huán)節(jié)都有擁有優(yōu)勢才能立于不敗之地。
無塵車間粒子計(jì)數(shù)器在微電子行業(yè)的芯片生產(chǎn)過程中,對(duì)微粒的控制要達(dá)到分子級(jí),否則生產(chǎn)就無法進(jìn)行,或者生產(chǎn)出次品;在抗菌素的生產(chǎn)環(huán)境中,如果存在某些微生物,生產(chǎn)就不能正常進(jìn)行。為了減少室內(nèi)污染對(duì)生產(chǎn)過程的影響,就必須通過潔凈技術(shù)來改善或解決室內(nèi)污染問題??梢钥隙ǎ谄胀ǖ纳a(chǎn)車間想要控制整個(gè)微環(huán)境的懸浮粒子濃度,使其達(dá)到工藝要求的潔凈程度是*不可能的。
只有建造潔凈室,采用密閉的結(jié)構(gòu),合理的氣流組織及合理的壓差,才能使其微環(huán)境內(nèi)達(dá)到所要求的空氣潔凈度,滿足生產(chǎn)要求。無塵室對(duì)生產(chǎn)過程產(chǎn)生重要影響室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境是制約工業(yè)生產(chǎn),特別是高科技生產(chǎn)能否進(jìn)行的關(guān)鍵因素之一;潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切相關(guān)。由于精密機(jī)械行業(yè)的環(huán)境要求(如陀螺儀、微型軸承)、半導(dǎo)體行業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)),潔凈室技術(shù)的發(fā)展得到了推動(dòng)。